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      半导体产线搬运机器人 —— 智能片盒运输/搬运


      ATR500

      APR500

      ATR500智能片盒运输设备,能够自动将最多4盒8寸/12寸片盒在工厂不同区域中进行运输;APR500智能片盒搬运设备,能够携带两盒12寸片盒,并将其搬运至工厂不同区域,如货架、机台等。智能的避障功能使之尤其能适用于人车协作的生产环境,配置有RFID传感器,能够与工厂生产管理系统进行交互。
         产品特征

      ● 灵活性高

      ● 适用于高净化等级厂房

      ● 运载量大

      ● 操作简便

      ● 物料可追溯

      ● 安全性高

         主要技术参数

      型号

      ATR500 

      APR500 

      运载容量

      4盒满载200mm/300mm Storage Box或FOUP两者可兼容

      2盒满载300mm FOUP

      引导方式

      激光智能引导

      激光智能引导

      移动速度

       最高1.3 m/s

       最高0.8 m/s