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      长短寸测量设备 —— 长寸测量兼容短寸和光刻胶膜厚测量


      SOM255/10

      SOM245/10

      SOM200系列长短寸测量设备配合光刻机,用于长寸测量兼容短寸和光刻胶膜厚测量。
         产品特征

      ● 多功能测量,长寸测量同时兼容CD/Overlay测量及光刻胶膜厚测量

      ● 高测量精度,CD测量重复性30nm,TP测量重复性280nm,满足高分辨率光刻的测量需求

      ● 高测量效率,采用桥式结构,更稳定更高速

      ● 高效的温度控制系统

      ● 快速灵活的客制化服务

         主要技术参数

       型号

      SOM245/10 

       SOM255/10

       CD测量重复性

       30nm@3Sigma

       30nm@3Sigma

      CD测量复现性

      50nm@3Sigma 

       50nm@3Sigma

       TP测量重复性

       280nm@3Sigma

      300nm@3Sigma

       TP测量复现性

      400nm@3Sigma 

      450nm@3Sigma